均匀光栅相位掩模.pdf(?)
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相位掩膜光栅是通过光栅中晶格形状和晶体表面倾斜斜角在定位晶格上刻蚀出自身相位特征的特殊构造而形成。
参数 | 指标 | ||
波长 | 1526nm | 1538nm | 1550nm |
光栅周期 | 1054.3 nm | 1062.8nm | 1071.2 nm |
光栅周期精度和均匀性 | +/- 0.01 nm | +/- 0.01 nm | +/- 0.01 nm |
光栅尺寸 | 10 mm x 10 mm | 10 mm x 10 mm | 25 mm x 10 mm |
基板尺寸 | 30 mm x 25 mm x 2 mm | 30 mm x 25 mm x 2 mm | 30 mm x 25 mm x 2 mm |
针对248nm非偏振照明进行了优化 | |||
| 名称 | 型号货号 | 描述 | 价格 |
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营业执照