测量波长:400-800nm;激光束直径:2.0-4.6mm; 精确性:<1/100λ RMS (3σ) ;可重复性:<1/5002RMS (3σ) ; 数据更新:Max. 10Hz;外部界面:IEEE1394 (6pin)
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PULSTEC该传感器基于Shack-Hartmann方法,能够实时测量光源和光学像差。它能够测量Zernike多项式项(15/24/36),赛德尔像差因子和一般波前磨损。它还具有干涉条纹、二维/三维相位图、强度分布和点扩散函数等功能。测试结果(好或不好)可以按给定值测量。
高速处理,实时测量:图形3Hz,数值10hz。
适用于对相干性不敏感的各种光束测量。
设计紧凑轻巧,适用于各类设备。
采用IEEE1394接口,方便接入电脑。
通过波前测量确定光束质量
光学透明元件测试
自适应光学波前传感器
光学反射组件测试
测量波长 | 400-800nm *1 |
激光束直径 | 2.0-4.6mm |
精确性 | <1/100λ RMS (3σ) *2 |
可重复性 | <1/5002RMS (3σ) *2 |
数据更新 | Max. 10Hz |
外部界面 | IEEE1394 (6pin) |
*1 需要获取每个波长的参考值。
*2受光束强度分布影响,jue对波前误差测量环境。
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参考激光二极管源
点源 (Point Source) | 平行光源 | |||||
波长 | 405±5nm | 650 +5/-0nm | 780±5nm | 405±5nm | 650 +5/-0nm | 780±5nm |
波长差 | <1/50λ RMS | |||||
偏振 | 圆形标准差 | |||||
激光功率控制 | 自动电源控制 (APC) | |||||
激光温度控制 | 比例积分控制 | |||||
激光头尺寸 | 179× Φ 44.5mm (L× Φ) | 253× Φ44.5mm (L× Φ ) | ||||
激光器重量 | 大约 1.0kg | 大约1.4kg | ||||
驱动器尺寸 | 152×61.5×167mm (W×H×D) | |||||
驱动器重量 | 大约1.2kg | |||||
电源供给 | AC 100-240V/50-60Hz (30W) |
NA0.9准直镜
波长 | 405nm和655nm |
焦距 | 2.4mm (@405nm)/ 2.54mm (@655nm) |
数值孔径(NA) | o.9(405nm)/0.7(@655nm) |
作业距离 | 超过1.0mm |
重量 | 大约150g |
玻璃盖板
波长 | 405nm | 655nm | ||
基板厚度 | 0.0875mm | 0. 1mm | 0.6mm |