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光源:二极管激光器(408nm 或 650nm); 测量克尔效应:极向克尔效应; 激光光斑直径:<φ1mm; 磁场:平面外方向 Max. >±20kOe (±2T); 晶圆尺寸:8 英寸或 12 英寸晶圆
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货号 : E80100172 | |
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用于磁性半导体的 8 英寸或 12 英寸晶圆目标映射测量的非接触式评估系统。
光源 | 二极管激光器(408nm 或 650nm) |
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测量克尔效应 | 极向克尔效应 |
激光光斑直径 | <φ1mm |
磁场 | 平面外方向:Max. >±20kOe (±2T) |
晶圆尺寸 | 8 英寸或 12 英寸晶圆 |
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