桌面台式无掩模光刻系统 电动 PALET DDB-701-DL.pdf
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载物台：电动 XYZθ；曝光光源：365nm (typ.) LED；Min. 线宽3μm 或 115μm； 单次曝光面积：1mm×0.6mm 或5mm×3mm；每张照片曝光时间：1～2 sec. 或 15～30 sec. ；Max. 曝光区域：25mm×25mm(自动连接)；可接受的工作尺寸：60mm ×60mm (t3mm)；相容文档格式：DXF JPEG PNG BITMAP XPS； 主体尺寸：300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H)
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| 货号 : E80100175 | |
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桌面尺寸无掩模(直接曝光)光刻系统，通过其复杂的软件支持简单的光刻操作。
硬件特性
小型化
内置隔振机构和真空吸油泵
只需要电源和光刻间
软件特性
用户方便型接口
简易流程
支持对准和暴露条件检查*限制电动载物台模型
曝光示例
电路/传感器模式
| 电路图 | 晶体管图案 | 磁性传感器模式 |
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三维结构*×2 仅物镜
高向柱结构 | 厚膜流体路径结构 | 胚胎干细胞培养结构 |
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型号 | DDB-701-MS | DDB-701-DL |
载物台(Stage) | 手动 XYZθ载物台 | 电动 XYZθ载物台 |
曝光光源 | 365nm (typ.) LED | |
Min. 线宽 | 3μm *1 | |
单次曝光面积 | 1mm×0.6mm *1 | |
每张照片曝光时间*3 | 1～2 sec. *1 | |
Max. 曝光区域 | 25mm×25mm(手动连接) | 25mm×25mm(自动连接) |
可接受的工作尺寸 | 60mm ×60mm (t3mm) | |
相容文档格式 | DXF, JPEG, PNG, BITMAP, XPS | |
主体尺寸 | 300mm (W) × 450mm (D) ×450mm (H) | |
主机重量 | 30kg | |
*1在使用×10物镜的情况下
*2在使用×2物镜的情况下
*3曝光时间基于AZP系列光刻胶(t0.5mm)
| 名称 | 型号货号 | 描述 | 价格 |
|---|
营业执照