Fiz3D 面型干涉仪 (VICT技术 1秒测量0.6米工件 触摸屏操作).pdf
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测量尺寸(圆形-直径)：102mm；可立式或卧式使用； 测量精度：PV值31.64 nm或1/20λ RMS值 6.328 nm或1/100 λ； 硬件可靠性：平均无故障工作时间>1000小时 及 平均连续无故障工作时间>12小时/天；对准角度允差：± 3°；光瞳调焦范围：≥±1.5米
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| 货号 : D80020082 | |
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面型干涉是目前最主流的光学表面计量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路。
VICT（Vibration Immunity at Crest and Trough 在波峰和波 谷处的振动免疫） 打破了“干涉仪非常容易受到干扰、要在十 分精密的环境下工作”的认知。
30 纳米 jue对精度,1nm重复精度
0.6 米直径工件, 仅需 1 秒测量
表面形貌 3D 成像
全新的触摸屏操作模式,Victsin 测量软件,现已支持Windows11
自动调平选件,让全自动测量成为现实
成盘测量选件 实现生产过程控制
一台机器可测量多种工件 通过更换不同的镜头 平面、凹面、凸面…
能够测量的工件
直径 < 600 mm
粗糙度 < Ra 0.1μm 平面或球面工件
超快速、超高精度的表面形貌三维成像
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通过光路扩展, 测量粗糙度> Ra 0.3 μm 的平面工件
通过CGH补偿器, 测量复杂曲面
黑色或透明工件, 仍然能够测量
适合半导体应用的MST(多表面测量) 一次采集, 同时完成上表面、下表面、厚度的计量。
适合半导体应用的jue对测距干涉，量程 > 100 μm 可进行台阶、翘曲度、热变形的测量。
出色的动态范围， 超过100条干涉条纹, 仍然可以分析。
将 FEA（有限元分析）引入干涉仪结构设计
根据文献, 干涉计算对 0~120 Hz 的振动敏感。 因此, 我们将机械结构的 7 阶模态设计到 127 Hz， 大大降低了机械结构对振动的敏感性
超高重复精度
对一片 250mm 直径的平晶进行 1000 次连续测量。
PV 值的重复精度为 5.7 纳米 (1/111 λ）
RMS 值的重复精度为 0.38 纳米 (1/1666 λ）
VICT Dop模式,数据未经人为修改
三维成像原理
面型干涉是目前最主流的光学表面计量手段， Fiz3D 使用 Fizeau(斐索)干涉光路
VICT 技术原理
选件
VICT High 超高精度 测量模式
支持到0.1纳米 ( 1/6330 λ）RMS重复精度 和1纳米（1/633 λ）PV重复精度， 对环境扰动进行建模分析, 包括振动、气流、光场在内的负面影响排除。
没有使用多次测量取平均的方法, 不会导致被测物面型被“美化” 。
VICT Dop 多普勒抗振动测量模式
非常恶劣的工业环境下仍正常工作，所有模式中zui高的测量效率， 允许不使用隔振平台。
蒙版跟踪
超分辨三维图
清洁度分析
基础配置
| 主机 | 型号 | 测量尺寸(圆形-直径)(注1) | 立式使用 | 卧式使用 | |
| Type100 | 102mm | OK | OK | ||
| Type150 | 152.4 mm | OK | OK | ||
| Type250 | 250mm | OK | OK | ||
| Type340 (注2) | 340mm | OK | OK | ||
| Type450 | 457.2 mm | x | OK | ||
| Type600 | 609.6 mm | x | OK | ||
| 注1:在80%直径以内使用时,可以获得更好的测量效果。 注2:推荐卧式使用,立式使用时会降低精度。 | |||||
| 激光测距点数 | 标准 | 692,224 | |||
| 高清 | 2,663,424 | ||||
| 高速 | 186,623 | ||||
| 超高速 | 692,224 | ||||
| 测量激光 | 激光器类型 | 波长(nm) | 8h波长稳定度(nm)(注1) | 寿命(h)(注2) | |
| 稳定氦氖 | 632.8 | 0.0005 | 20,000 | ||
| 稳定半导体(注3) | 633 | 0.02 | 50,000 | ||
| 高效氦氖 | 632.8 | 0.1 | 20,000 | ||
| 高效半导体(注4) | 635 | 6 | 5,000 | ||
| 注1:在恒温,隔振的实验室测试。 注2:由激光器厂家提供的参考寿命。 注3:推荐用于Vctsin MST 注4:可用于Victsin MST | |||||
| 计算机 | CPU | 独立显卡 | 显示屏 | 操作系统 | |||
| Intel 12代i712核心 | NVIDIA Quadro | 2k分辨率 | Win10 | ||||
| 测量软件 | Victsir软件模块 | 扫描方式 | 单平面干涉(注1) | 双平面干涉(注2) | |||
| Victsin Static (注3) | 无 | OK | X | ||||
| Victsin PSI | 压电振镜 | OK | X | ||||
| Victsin MST | 波长调谐 | OK | OK | ||||
| 注1:适用于大部分工件。 注2:通常适用于透明工件,同时对上表面,下表面,厚度,进行测量。 注3:基础版本,不推荐用于高精度测量。 | |||||||
测量精度
| jue对精度 注1 | Type 100~250 | Type 340 | Type 450~600 |
| PV | 31.64 nm或1/20λ | 42.19 nm或1/15 λ | 63.28 nm或1/10λ |
| RMS | 6.328 nm或1/100 λ | 8.437 nm或1/75λ | 12.66 nm或1/50 λ |
| 注1:jue对精度被定义为"参考镜的jue对精度"实际测量的jue对精度=jue对精度＋重复精度。 注2:波长为测量激光的波长，例如632.8 nm的测量激光,1/20约为31.64 nm,1/15约为42.19nm,1/12约为632.28 nm . 注3:该精度为我们提供的标准平面参考镜的精度,更高精度需求请联系销售人员。 注4:非平面参考镜的精度通常低于平面参考镜,具体数值请联系销售人员确认。 | |||
| 重复精度 | VICT-High | VICT-Low | VICT-Dop |
| PV | 1 nm或1/633 λ | 3 nm或1/211λ | 10或1/63λ |
| RMS | 0.1nm或1/6330 λ | 0.3 nm或1/2110 λ | 1 nm或1/633λ |
| 注1:实际精度与测量环境有关，zui高精度与VICT-High相同,表格内数值考虑了轻微的环境扰动。 | |||
PV值是 Peak to Valley （峰值与谷值的差值 ）
RMS值是 Root Mean Square （ 均方根值 ），根据经验RMS值是PV值的1/3左右。因为像平面这类的简单形状，大多使用PV值来表示。
例如：面型精度的PV值是1/4λ时，表示理想平面的Max. 偏差值是158.2nm
重复精度定义
连续100次测量的允差 (95%置信度)
测试环境
样品放置于气浮隔振桌.上,样品距离参考镜100mm,光路被遮光罩包裹,房间内空调关闭，以避免气流扰动。
被测物
直径小于参考镜的80%,平面反射工件,反射率4%+1%,PV精度高于50 nm, RMS精度高于5 nm。
可靠性与环境要求
| 硬件可靠性 | 平均无故障工作时间>1000小时 平均连续无故障工作时间>12小时/天 | |
| 软件可靠性 | 平均连续无故障工作时间>12小时/天 | |
| 对准角度允差 | ± 3° | |
| 光瞳调焦范围 | ≥±1.5米 | |
| 运输和贮存 | 温度 | +10~+40 °c |
| 湿度 | RH≤60% | |
| 工作条件 | 温度 | +20~+25℃ |
| 温度变化 | ≤±1℃ @24小时 | |
| 湿度 | RH≤50% | |
| 电压 | AC 220V,50 Hz,1.5kW | |
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