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TEUS S-400 极紫外光源


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产品总览
产品特点

• 高亮度(意味着高吞吐量)以及出色的稳定性

  • jue对Min. 碎片

  • 很高的正常运行时间


产品应用

• 掩膜及表面检查:

• 模板检查(PMI)

  • 区域掩模检验(AIMS)

  • 掩模空bai检验(MBI)

  • 极紫外光学链中的极紫外扫描仪检测

  • 材料科学

  • 晶片光刻检验


通用参数


主要技术参数

型号

TEUS S-100

激光平均功率

100W

脉冲重复率

25kHz或70kHz(z高)

可收集EUV功率的立体角

0.05sr

等离子体尺寸*µm

≤ 60 or ≤ 40

带内辐射转换效率(13.5 nm±1%)

2 % @2π·sr 或 1.6% @2π·sr

ЕUV碎片缓减系统后带内通量收集角(13.5nm±1%)

11 mW 或9 mW

碎片缓减系统后带内光谱亮度(13.5nm±1%),W/mm2·sr

≥ 80W/mm2·sr或≥ 140 W/mm2·sr

等离子体稳定性

3% RMS

 

系统寿命和维护要求 

型号

TEUS S-100

在24/7运行模式下,不使用特殊膜过滤器,收集器寿命降解10%

不少于8个月

在24/7运行模式下,使用特殊膜过滤器,收集器寿命降解10%

不少于18个月

每次维护时间:

4个月- 1天

正常运行时间在24/7运行模式***

4个月

 

 

电力,系统尺寸和重量

型号

TEUS S-100

电功率

6.5 kW

维度(L×W×H)

1500×1000×1200 mm

重量,包括激光部件

770 公斤

 

 

设备需求

型号

TEUS S-100

房间清洁度等级

ISO7

水流速率

10升/分钟

 

 

 

 






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