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透射衍射光栅


产品的好处: • 优秀衍射效率 • 特殊衍射波前误差 • 全光圈均匀度高 • 高激光损伤阈值 • 曲线可以用于聚焦应用 产品适用范围 : • 脉冲压缩用于紧凑典型、商用飞秒激光器 • 波束组合(SBC)为平均功率激光非常高 • 高强度球形和圆柱形聚焦元件,用于科学激光和工业退火应用

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产品总览

产品的好处:


优秀衍射效率

特殊衍射波前误差

全光圈均匀度高

高激光损伤阈值

曲线可以用于聚焦应用

 

产品适用范围


脉冲压缩用于紧凑典型、商用飞秒激光器

波束组合(SBC)为平均功率激光非常高

高强度球形和圆柱形聚焦元件,用于科学激光和工业退火应用


产品特点:


光栅典型

传输

衍射效率

典型.93– 96%

衍射波前误差

< λ / 4(大小相关)

光损伤阈值

15 J/cm2 @1054 nm, 10 ns

频带宽度

典型. 10’s to > 100 nm

 

透射光栅需要非常深的沟槽深度来实现高衍射效率,所需顺序-通常3 - 10倍深度比MLD光栅和镀金光栅,PGL开发基于深度蚀刻工艺反应离子蚀刻(RIE)可以直接获得> 2.5µm沟槽深

在熔融石英衬底,该工艺高均匀性和扫描光束干涉光刻精度,纳米光栅刻写技术产生特殊的衍射波前误差性能。

优质减反射(AR)涂层对于传输光栅也是至关重要的。

PGL薄膜涂层方面经验使我们能够亲自生产优化薄膜涂层为所有透射光栅能设计AR涂层,由此产生的光栅是理想的紧凑,,从激光脉冲压缩机到光谱仪的商业系统。



产品详细信息:


PGL光栅曝光和蚀刻工艺产生异常光滑,使一致,深格栅槽对于可忽略的衍射波前误差均匀性和衍射效率高。 


下图理论显示衍射效率与输入波长和入射角的关系,对于优化为800 nm的1200 l/mm光栅,实际光栅通常比理论低1 - 2%。



聚焦光栅


除了PGL的SBIL许多优点之外标准光栅的光栅刻写技术-高衍射效率,一致占空比和周期

可重复性10ppb从部分到部分-纳米尺能轻易地产生弯曲光栅线,作为一个结果,我们可以同时生产球形和圆柱聚焦光栅。









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