峰谷绝对精度 ±0.6nm(λ/1000;峰谷分辨率 0.05 nm(λ/12000);波前均方根重复性 <0.23nm(λ/2800);简单均方根重复性 <0.06 nm(λ/10500);激光类型和波长 稳定He-Ne;632.8nm
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爱沙尼亚Difrotec公司的激光干涉仪是市场上高精度干涉仪的标杆产品,测量精度可达0.6nm(λ/1000). 其标杆产品D7激光干涉仪采用点衍射技术,主要用于高精度的表面(平面,球面,非球面,自由曲面)检测及透射波前检测。Difrotec在光学测试领域有多项世界纪录。
● 峰谷绝对精度:±0.6nm(λ/1000)
● 峰谷分辨率:0.05 nm(λ/12000)
● 波前均方根重复性:<0.23nm(λ/2800)
● 简单均方根重复性:<0.06 nm(λ/10500)
● 激光类型和波长:稳定He-Ne,632.8nm
● 数值孔径 NA:0.55(f 0.91)
● 数据采集:相移干涉法(psi)
● 超高的绝对精度λ/1000 (0.6 nm)
● 数值孔径:0.55 (f# 0.91)
● 重复准确性(simple RMS):< 0.06 nm
● 基于工作波长:632.8nm
● 光纤干涉仪
● 光学表面测量
● 光纤传感