基于激光GHz声波振动观测系统 500MHz-6GHz.pdf
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振动检测方法：基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度：5GHz)； 振动观察法：用激光光束探测的台控扫描观测(面外振动)； 观测光源：二极管激光器(波长：650nm典型)照明LED； 可用物镜：×20、×50、×100 物镜； 可观察到的频率：500MHz ～ 6GHz (Typ.)； 驱动信号输入范围：500MHz～6GHz (-120dBM～＋15dBM) ； Max. 可分析区域：25mm × 25mm； 容许工作量Max. 8英寸晶圆片； 样品台：电动X-Y型载物台
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| 货号 : E80100179 | |
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基于激光的观测系统，专门设计用于显示基于电介质/压电的高频设备的表面声波 surface acoustic wave（SAW）和体声波 Bulk Acoustic Wave（BAW），如SAW滤波器（Interdigital Transducer 叉指换能器 IDT）和薄膜体声波谐振器（FBAR）
适用于不同频率下物理声波传播的分析
短时间广域观测
图像 FFT & IFFT 处理
观察示例
IDT
FBAR
参数
振动检测方法 | 基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度:5GHz) |
振动观察法 | 用激光光束探测的台控扫描观测(面外振动) |
观测光源 | 二极管激光器(波长:650nm典型)，照明LED |
可用物镜 | ×20、×50、×100 物镜 |
可观察到的频率 | 500MHz ～ 6GHz (Typ.) |
驱动信号输入范围*1 | 500MHz～6GHz (-120dBM～＋15dBM) *2 |
Max. 可分析区域 | 25mm × 25mm |
容许工作量 | Max. 8英寸晶圆片 |
样品台 | 电动X-Y型载物台 |
主要软件功能 | 基于采样阶段控制的预设区域扫描观测 |
2维 ⇔ 3维观察结果指示(in Movie) | |
二维FFT⇔FFT图象处理 | |
基于FFT结果的特定振动共振模式滤波 | |
面外轴倾角校正 | |
基于预设频率表的连续数据采集 | |
构造 | 主体/电气单元/信号发生器/锁相放大器/级驱动器/ PC /软件 |
*1 提供高频探测装置。(手动探测) *2 提供输入信号放大器。 | |
营业执照