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基于激光的GHz声波振动观测系统 MLD-101系列  

基于激光的GHz声波振动观测系统   MLD-101系列
基于激光的观测系统,专门设计用于显示基于电介质/压电的高频设备的表面声波 surface acoustic wave(SAW)和体声波 Bulk Acoustic Wave(BAW),如SAW滤波器(Interdigital Transducer 叉指换能器 IDT)和薄膜体声波谐振器(FBAR)


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产品型号 1
货号 操作 名称
E80100179  基于激光GHz声波振动观测系统 500MHz ~ 6GHz   [PDF] 振动检测方法:基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度:5GHz); 振动观察法:用激光光束探测的台控扫描观测(面外振动); 观测光源:二极管激光器(波长:650nm典型)照明LED; 可用物镜:×20、×50、×100 物镜; 可观察到的频率:500MHz ~ 6GHz (Typ.); 驱动信号输入范围:500MHz~6GHz (-120dBM~+15dBM) ; Max. 可分析区域:25mm × 25mm; 容许工作量Max. 8英寸晶圆片; 样品台:电动X-Y型载物台    价格 : ¥0 库存/货期:请咨询客服
总览

基于激光的观测系统,专门设计用于显示基于电介质/压电的高频设备的表面声波 surface acoustic wave(SAW)和体声波 Bulk Acoustic Wave(BAW),如SAW滤波器(Interdigital Transducer 叉指换能器 IDT)和薄膜体声波谐振器(FBAR)

产品特点

适用于不同频率下物理声波传播的分析

短时间广域观测



img_51.png


通用参数

图像 FFT & IFFT 处理

img_52.png

观察示例


IDT

360截图20230519111252785.jpg


FBAR

360截图20230519111303513.jpg


参数

振动检测方法

基于Sagnac干涉仪的振动检测(峰值频率灵敏度:5GHz)

振动观察法

用激光光束探测的台控扫描观测(面外振动)

观测光源

二极管激光器(波长:650nm典型),照明LED

可用物镜

×20、×50、×100 物镜

 可观察到的频率

500MHz ~ 6GHz (Typ.)

驱动信号输入范围*1

500MHz~6GHz  (-120dBM~+15dBM) *2

Max. 可分析区域

25mm × 25mm

容许工作量

Max. 8英寸晶圆片

样品台

电动X-Y型载物台

主要软件功能

基于采样阶段控制的预设区域扫描观测

2维 ⇔ 3维观察结果指示(in Movie)

二维FFT⇔FFT图象处理

基于FFT结果的特定振动共振模式滤波

面外轴倾角校正

基于预设频率表的连续数据采集

构造

主体/电气单元/信号发生器/锁相放大器/级驱动器/ PC /软件

*1 提供高频探测装置。(手动探测)

*2 提供输入信号放大器。











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