20nm 台式X射线源 脉宽 7ns.pdf
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工作波长 20nm；脉宽 7 ns；脉冲能量（Xe） 3.5 mJ (4π sr； 2% BW)；转换效率 0.45% ；等离子形状 Ø ~ 300 µm；重复频率 10 Hz
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| 货号 : B80020087 | |
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激光源产生的紫外/软X射线辐射是Tingen在激光实验室开发的，由高脉冲能量YAG激光器（1064nm，800mJ，7ns）聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。
参数 | 单位 | 指标 |
产品编号 | EUV-B-XRAY | |
工作波长 | nm | 20nm |
脉宽 | ns | 7 |
脉冲能量（Xe） | mJ | 3.5(4π sr, 2% BW) |
转换效率 | % | 0.45 |
等离子形状 | NA | Ø ~ 300 µm |
重复频率 | HZ | 10 |
测试数据展示：
● 低残留
● 高EUV能量（3.5 MJ）
● z低耗气量（气体脉冲持续时间：<1 ms）
● 简单目标气体交换
● 桌面系统
● 计量：反射测量、吸收
● 光谱学（nexafs）
● 光学/传感器测试
● EUV损坏调查
● 材料相互作用基础研究
● 水窗显微镜（λ=2..4纳米）
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