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微信号:13061644116
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货号 | 操作 | 名称 | 描述 | 工作波长 | 脉冲持续时间(脉宽) | 重复频率 |
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图片 | 名称 | 货号货期 | 描述 | 参数 | 价格 |
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激光源产生的紫外/软X射线辐射是Tingen在激光实验室开发的,由高脉冲能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。
● 低残留
● 高EUV能量(3.5 MJ)
● z低耗气量(气体脉冲持续时间:<1 ms)
● 简单目标气体交换
● 桌面系统
● 计量:反射测量、吸收
● 光谱学(nexafs)
● 光学/传感器测试
● EUV损坏调查
● 材料相互作用基础研究
● 水窗显微镜(λ=2..4纳米)
参数 | 单位 | 指标 |
产品编号 | EUV-B-XRAY | |
工作波长 | nm | 20nm |
脉宽 | ns | 7 |
脉冲能量(Xe) | mJ | 3.5(4π sr, 2% BW) |
转换效率 | % | 0.45 |
等离子形状 | NA | Ø ~ 300 µm |
重复频率 | HZ | 10 |
测试数据展示: